- Tytuł:
- Diagnostyka struktur półprzewodnikowych z wykorzystaniem zaawansowanych technik bliskiego pola
- Autorzy:
- Sikora, A.
- Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
mikroskopia sił atomowych
diagnostyka układów scalonych
elektrostatyka
sonda Kelvina
EFM
atomic force microscopy (AFM)
diagnostic of integrated ciruits
electrostatics
Kelvin probe - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł