- Tytuł:
- Badania optyczne politypów 6H-SiC oraz 15R-SiC poddanych wielokrotnej implantacji jonami glinu w podwyższonej temperaturze
- Autorzy:
-
Kulik, M.
Żuk, J.
Rzodkiewicz, W.
Pyszniak, K.
Droździel, A.
Turek, M.
Prucnal, S.
Sochacki, M.
Szmidt, J. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
węglik krzemu
implantacja jonowa
elipsometria spektroskopowa
spektrometria mikro-ramanowska
silicon carbide
ion omplantation
spectroscopic elipsometry
micro-Raman spectrometry - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł