- Tytuł:
- Analiza wpływu trawienia powierzchni w procesie sputteringu magnetronowego
- Autorzy:
-
Grudniewski, T.
Chodyka, M.
Lubańska, Z. - Data publikacji:
- 2015
- Słowa kluczowe:
-
trawienie powierzchni
sputtering magnetronowy
surface etching
sputtering magnetron - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech