- Tytuł:
-
Badanie odkształceń sieci krystalicznej w implantowanej warstwie epitaksjalnej GaN osadzonej metodą MOCVD na podłożu szafirowym o orientacji [001]
Materiały Elektroniczne 2011 T.39 nr 4
Badanie odkształceń sieci krystalicznej w implantowanej warstwie epitaksjalnej GaN osadzonej metodą MOCVD na podłożu szafirowym o orientacji [001] = Lattice strain study in implanted GaN epitaxial layer deposited by means of MOCVD technique on [001] oriented sapphire substrate - Autorzy:
- Wójcik Marek
- Data publikacji:
- 2011
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
diffraction
HR XRD
implantacja jonowa
Elektronika - czasopismo - materialy
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
Electronic - journal - materials
HRXRD
ion implantation
dyfrakcja - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka