- Tytuł:
- Formation of horizontal and vertical insulation in semiconductors by ion implantation
- Autorzy:
-
Komarov, F.F.
Kamyshan, A.M.
Mironov, A.M. - Data publikacji:
- 1999
- Słowa kluczowe:
-
półprzewodniki
implantacja jonów
warstwy izolacyjne
semiconductors
ion implantation
insulating layers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech