- Tytuł:
- Modifications of post - implantation defects and their activity by annealing procedure
- Autorzy:
-
Kuznicki, Z. T.
Ley, M.
Holliger, P. - Data publikacji:
- 2000
- Słowa kluczowe:
-
beam-induced structural instabilities
oxygen precipitates
post-implantation defects
ion beam amorphisation
recombination activity
planar nanostructure - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł