- Tytuł:
- Scanning capacitance microscopy characterization of AIIIBV epitaxial layers
- Autorzy:
-
Szyszka, A.
Obłąk, M.
Szymański, T.
Wośko, M.
Dawidowski, W.
Paszkiewicz, R. - Data publikacji:
- 2016
- Słowa kluczowe:
-
scanning
capacitance
microscopy
SCM
atomic force microscopy (AFM)
GaAs
InGaAs
AlGaN/GaN - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech