- Tytuł:
-
Badania struktury cienkich warstw metalicznych metodami mikroskopii elektronowej oraz bliskich oddziaływań
Thin metallic film examination by electron and atomic force microscopy - Autorzy:
- Popek, Piotr
- Słowa kluczowe:
-
cienkie warstwy metaliczne, tytan, napylanie, rozpylanie magnetronowe, fizyczne osadzanie z fazy gazowej, plazma argonowa, skaningowa mikroskopia elektronowa, mikroskopia sił atomowych, kelwinowska mikroskopia potencjału powierzchniowego, PVD, SEM, AFM, EDX, KPFM
thin metallic film, titanium, magnetron sputtering, physical vapour deposition, argon plasma, scanning electron microscopy, atomic force microscopy, kelvin probe force microscopy, energy disspersive X-ray spectroscopy, PVD, SEM, AFM, EDX, KPFM - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Repozytorium Uniwersytetu Jagiellońskiego
Inne