- Tytuł:
- Struktura warstw a-SiC:N otrzymanych metodą RFCVD
- Autorzy:
-
Kluska, S.
Jonas, S.
Moryc, U. - Data publikacji:
- 2006
- Słowa kluczowe:
-
metoda RFCVD
wpływ mocy generatora RF
struktura warstw a-SiCN:H
spektroskopia w podczerwieni
metoda EFCVD
metoda chemicznego osadzania
Structure of amorphous silicon carbonitride layers
RF CVD method
influence of the power of RF generator - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł