- Tytuł:
- Metoda detekcji optycznej przeznaczona dla membranowych krzemowych czujników ciśnienia typu MEMS
- Autorzy:
-
Sareło, K.
Drzazga, A.
Dziuban, J. - Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
detekcja optyczna
czujnik ciśnienia
MEMS
optical detection
pressure sensor - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech