- Tytuł:
- Wpływ parametrów plazmy MW/RF na właściwości warstw węglowych
- Autorzy:
-
Kaczorowski, W.
Niedzielski, P.
Klimek, L.
Kozanecki, M.
Mitura, S. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
warstwy węglowe
plazma MW/RF
parametry plazmy MW/RF
carbon coatings
MW/RF plasma
MW/RF plasma parameters - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech