- Tytuł:
- Analiza składu chemicznego układu DLC/Si przy użyciu metody SIMS i spektroskopii elektronów Augera
- Autorzy:
-
Staryga, E.
Rogowski, J.
Knapik, M.
Jarzyńska, D.
Cłapa, M.
Rylski, A. - Data publikacji:
- 2006
- Słowa kluczowe:
-
skład chemiczny układu DLC/Si
metoda SIMS
metoda spektroskopii elektronów Augera - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech