- Tytuł:
- Wpływ parametrów osadzania na właściwości warstw ITO wytwarzanych w procesie reaktywnego rozpylania magnetronowego typu pulse-DC
- Autorzy:
- Dudek, M.
- Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
ITO
transparentne warstwy przewodzące
reaktywne rozpylanie magnetronowe typu pulse-DC
transparent conducting oxides
reactive pulse-DC magnetron sputtering - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech