- Tytuł:
- Ion source with radiofrequency mass filter for sputtering purposes
- Autorzy:
- Sielanko, Juliusz (1938- )Sowa, Marek (1944- )
- Współwytwórcy:
- Sowa, Marek (1944- )
- Data publikacji:
- 1990
- Wydawca:
- UMCS
- Tematy:
- fizyka
- Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Academica