- Tytuł:
-
Electronic Materials Vol. 42 Nr 1
Metoda otrzymywania monokrystalicznych folii krzemowych z wykorzystaniem krzemu porowatego
Materiały Elektroniczne. T. 42 Nr 1
Metoda otrzymywania monokrystalicznych folii krzemowych z wykorzystaniem krzemu porowatego = A method of obtaining monocrystalline silicon foils using porous silicon - Autorzy:
- Sarnecki Jerzy
- Współwytwórcy:
-
Lipiński Dariusz
Brzozowski Andrzej - Data publikacji:
- 2014
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
warstwa epitaksjalna
epitaxial layer
krzem porowaty
folia krzemowa
CVD
silicon foil
porous silicon - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych