- Tytuł:
-
Modelowanie procesu epitaksji z fazy gazowej
Proceedings of ITME 1985 z. 15
Modelowanie procesu epitaksji z fazy gazowej = The modeling of the CVD epitaxial process
Prace ITME 1985 z. 15 - Autorzy:
- Korec Jacek
- Data publikacji:
- 1985
- Wydawca:
- Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
Si
modelowanie procesu epitaksji
Elektronika - czasopismo - materiały
Materiały elektroniczne
Electronic materials
CVD
modeling of epitaxial process
Electronic - journal - material - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka