- Tytuł:
- Hydrogenated carbon-silicon films fabricated by PACVD from tetramethylsilane in the A.F. three-electrode reactor
- Autorzy:
-
Tyczkowski T.
Gubiec K. - Tematy:
-
tetramethylsilane
carbon-silicon film
audio-frequency glow discharge
three-electrode reactor
electronic structure - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- AGRO