- Tytuł:
- Application of pulsed discharge for deposition of organo-silicon thin films
- Autorzy:
-
Ulejczyk B.
Opalinska T.
Karpinski L.
Schmidt-Szalowski K. - Tematy:
-
plasma deposition
application
tetraethoxysilane
pulsed discharge
plasma etching
barrier discharge
organo-silicon thin film - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- AGRO