- Tytuł:
- HBV deep mesa etching in InGaAs/InAlAs/AlAs heterostructures on InP substrate
- Autorzy:
-
Górska, M.
Wrzesińska, H.
Szerling, A.
Hejduk, K.
Ratajczak, J.
Łysko, J.M. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
heterostructure
anisotropic
wet etching
mesa - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech