- Tytuł:
- Multi-scale modeling of deposition and re-sputtering of NixTi1-x thin film in a magnetron sputtering chamber
- Autorzy:
-
Dey, A.
Aich, S.
Ghosh, S.
Mohapatra, S. S.
Kumar, A.
Behera, A. - Data publikacji:
- 2017
- Słowa kluczowe:
-
NiTi
sputtering
re-sputtering
multi-scale modeling
thin film - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech