- Tytuł:
- Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji
- Autorzy:
- Smoczyński, D.
- Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
GaSb
obróbka mechaniczno-chemiczna
chropowatość
utlenianie
epitaksja
mechanical - chemical treatment
roughness
oxidation
epitaxy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł