- Tytuł:
- Numeryczno-eksperymentalna metodyka badania mikrobelek z piezoelektryczną warstwą azotku aluminium
- Autorzy:
-
Jóźwik, M.
Krupa, K.
Gorecki, C.
Delobelle, P.
Hirsinger, L. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
azotek aluminium
MEMS
aktuator
interferometr
przemieszczenia pozapłaszczyznowe
aluminium nitride
actuator
interferometry
out-of-plane displacement - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł