- Tytuł:
- Analysis of the Dispersion of Electrical Parameters and Characteristics of FinFET Devices
- Autorzy:
-
Malinowski, A.
Tomaszewski, D.
Łukasiak, L.
Jakubowski, A.
Sekine, M.
Hori, M.
Korwin-Pawlowski, M. L. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
FinFET
line edge roughness
parameter variability
plasma etching
technology computer aided design (TCAD) - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech