- Tytuł:
-
Specjalizowane układy pozycjonowania podłoży w komorach próżniwych przeznaczonych do realizacji procesów PVD
Specialized systems of substrate positioning in vacuum chambers intended for PVD processes - Autorzy:
-
Kozioł, S.
Piątek, M.
Samborski, T. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
komora próżniowa
procesy PVD
uchwyt technologiczny
obrotnik planetarny
vacuum chamber
PVD processes
technological holder
planetary positioner - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł