- Tytuł:
-
Poprawa jakości polerowanych płytek SiC metodą chemicznego utleniania i obróbki termicznej. Badania jakości powierzchni metodami rentgenowskimi
Poprawa jakości polerowanych płytek SiC metodą chemicznego utleniania i obróbki termicznej. Badania jakości powierzchni metodami rentgenowskimi = Improvement of the quality of SiC wafers polished using chemical oxidation and heat treatment. Examination of the quality of the surface using X-ray technoques
Materiały Elektroniczne 2012 T.40 nr 2 - Autorzy:
- Sakowska Halina
- Współwytwórcy:
-
Teklińska Dominika
Wierzchowski Wojciech
Mazur Krystyna
Gała Maciej
Wieteska Krzysztof - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
SiC
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
catalytic oxidation
polishing
Electronic - journal - materials
polerowanie
Elektronika - czasopismo - materiały
utlenianie katalityczne - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka