- Tytuł:
-
Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu = Bosch process for silicon plasma etching
Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu
Materiały Elektroniczne 2011 T.39 nr 2 - Autorzy:
- Góra Krzysztof
- Współwytwórcy:
- Kozłowski Andrzej
- Data publikacji:
- 2011
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
Bosch process
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
współczynnik kształtu
plasma etching
trawienie plazmowe krzemu
high aspect ratio
Electronic - journal - materials
proces Boscha
Elektronika - czasopismo - materiały
ICP OES - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka