- Tytuł:
- System sterowania procesem nanoszenia wielowarstwowych powłok metalicznych metodą jonowego rozpylania
- Autorzy:
-
Marszałek, K. W.
Stępień, J.
Mania, R. - Data publikacji:
- 2013
- Słowa kluczowe:
-
sterownik procesu
Al/Ni
rozpylanie magnetronowe
controll system
multilayer magnetron sputtering - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech