- Tytuł:
- Application of laser-plasma source with gas-puff target for calibration of EUV radiation detectors
- Autorzy:
-
Mikołajczyk, J.
Bielecki, Z. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
promieniowanie zakresu skrajnego nadfioletu
nanolitografia
kalibracja detektorów
EUV radiation
nanolithography
detectors calibration - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech