- Tytuł:
- Analiza skutków ultrapłytkiej implantacji jonów azotu w plazmie w cz. (13,56 MHz)
- Autorzy:
-
Bienek, T.
Beck, R. B.
Jakubowski, A.
Kudła, A. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
dual gate
implantacja plazmowa
tlenki
tlenkoazotki
PECVD
XPS
dual gate technology
plasma implantation
oxides
oxynitrides - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech