- Tytuł:
- Two-dimensional modeling RF glow discharge at low pressure
- Autorzy:
-
Habel, E.
Kraloua, B.
Hennad, A. - Data publikacji:
- 2017
- Słowa kluczowe:
-
RF glow discharge
fluid model
charged particle transport
time splitting method
wyładowanie jarzeniowe RF
model cieczy
metoda dzielenie czasu - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech