- Tytuł:
- Badanie cienkich warstw nanoszonych metodą magnetronowego rozpylania krzemu w atmosferze Ar + O₂
- Autorzy:
-
Posadowski, W. M.
Chmiel, Ł.
Wiatrowski, A.
Krówka, K. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
magnetron
reaktywne rozpylanie magnetronowe
SiOx
reactive magnetron sputtering - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech