- Tytuł:
- Magnetronowe rozpylanie : technika i technologia
- Autorzy:
-
Posadowski, W. M.
Wiatrowski, A.
Tadaszak, K.
Kudzia, J. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
magnetron
rozpylanie impulsowe
próżnia
pulsed sputtering
vacuum - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech