- Tytuł:
- Otrzymywanie warstw SiCN metodą RF sputteringu
- Autorzy:
-
Stańczyk, B.
Jagoda, A.
Dobrzański, L.
Caban, P.
Możdżonek, M. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
SiCN
sputtering
widmo podczerwieni
widmo optycznej absorpcji
dyfrakcja rentgenowska
SIMS
rf sputtering
absorption spectrum
IR spectrum
X-ray diffraction - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech