- Tytuł:
- Elipsometryczna metoda określania naprężeń w strukturach MOS
- Autorzy:
- Rzodkiewicz, W.
- Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
naprężenia
struktura MOS
elipsometria spektroskopowa
pochodne ułamkowe
spectroscopic ellipsometry
fractional-derivative-spectrum
van Hove singularities
stress - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech