- Tytuł:
- Przegląd metod czyszczenia powierzchni podłoży SiC
- Autorzy:
-
Martychowiec, Agnieszka
Kwietniewski, Norbert
Sochacki, Mariusz - Data publikacji:
- 2019
- Słowa kluczowe:
-
węglik krzemu
SiC
przygotowanie powierzchni SiC
technologia półprzewodnikowa
silicon carbide
SiC surface preparation
semiconductor technology - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech