- Tytuł:
- Badanie nanostruktur warstwowych InAlGaAs/AlGaAs/GaAs, metodą SIMS przy stosowaniu wiązki jonów o ultra-niskiej energii
- Autorzy:
-
Konarski, P.
Ćwil, M.
Zaremba, M.
Radziewicz, D.
Ściana, B.
Kozłowski, J. - Data publikacji:
- 2004
- Słowa kluczowe:
-
metoda SIMS
nanostruktury warstwowe
spektrometria mas jonów wtórnych
SIMS method
nanostructures
ion mass spectrometry - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł