- Tytuł:
-
Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych = Influence of polishing condictins on surface roughness of silicon wafers
Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych
Prace ONPMP 1978 z. 2
Proceedings of ONPMP 1978 z. 2 - Autorzy:
- Czerwińska Anna
- Współwytwórcy:
-
Bielecki Krzysztof
Piątkowski Bronisław - Data publikacji:
- 1978
- Wydawca:
- Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
Elektronika - czasopismo - materiały
surface roughness
Materiały elektroniczne
Electronic materials
chropowatość
polishing
polerowanie
Electronic - journal - material - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka