- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 2002 T.30 nr 3
Badania nad mechanicznym i chemicznym pocienianiem termicznie połączonych płytek krzemowych
Badania nad mechanicznym i chemicznym pocienianiem termicznie połączonych płytek krzemowych = The investigation of the mechanical and chemical thinning of silicon bonded wafers - Autorzy:
- Piątkowski Bronisław
- Współwytwórcy:
-
Zabierowski Piotr
Miros Artur - Data publikacji:
- 2002
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
pocienianie mechaniczno-chemiczne
mechanical-chemical shinning
thermal bonding
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
Si wafer
płytka Si
Electronic - journal - materials
łączenie termiczne
Elektronika - czasopismo - materiały - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka