- Tytuł:
- Etching of Si(100) and (110) substrates in KOH solutions saturated and son-saturated with isopropyl alcohol
- Autorzy:
- Rola, Krzysztof
- Współwytwórcy:
-
Kramkowska, Małgorzata
Zubel, Irena
Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki - Data publikacji:
- 2011
- Dostawca treści:
- Academica