- Tytuł:
- Micromirrors inclined at 45° towards Si substrates fabricated by anisotropic etching
- Autorzy:
- Zubel, Irena
- Współwytwórcy:
-
Rola, Krzysztof
Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki - Data publikacji:
- 2011
- Dostawca treści:
- Academica