- Tytuł:
- Influence of RF ICP PECVD process parameters of diamond - like carbon films on DC bias and optical emission spectra
- Współwytwórcy:
-
Kovač, Jaroslav
Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
Oleszkiewicz, Waldemar
Tłaczała, Marek
Gryglewicz, Jan
Markowski, Janusz
Srnanek, Rudolf
Kijaszek, Wojciech - Data publikacji:
- 2013
- Dostawca treści:
- Academica