- Tytuł:
- Dobór parametrów procesu wytwarzania sprzęgaczy siatkowych struktur fotonicznych przy zastosowaniu techniki trawienia skupioną wiązką jonową
- Autorzy:
-
Salamon, N.
Lisik, Z. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
FIB
dual beam
nanostruktury
sprzęgacze siatkowe
FIB system
nanostructures
grating couplers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł