- Tytuł:
-
Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu. - An investigation of the effect of deep chemical etching on the quality of silicon surface
Materiały Elektroniczne 1979 nr 4(28)
Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu - Autorzy:
- Łazowy Barbara
- Data publikacji:
- 1980
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
powierzchnia krzemu
trawienie chemiczne
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
chemical etching
Elektronika - czasopismo - materiały
silicon surface
Electronic - journal - materials - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka