- Tytuł:
- Monitoring removal of W layer from Ag substrate using Balmer-α emission of backscattered hydrogen atoms in low density gas discharge
- Współwytwórcy:
-
Ertmer, Stephen. Autor
Houben, Anne. Autor
Linsmeier, Christian. Autor
Göths, Beatrix. Autor
Mertens, Philippe. Autor
Dickheuer, Sven. Autor
Rasinski, Marcin. Autor
Marchuk, Oleksandr. Autor
Brezinsek, Sebastijan. Autor
Kreter, Arkadi. Autor
Heuer, Simon. Autor - Data publikacji:
- 2020
- Tematy:
-
Widmo
Wolfram
Optyczna spektrometria emisyjna
Rozpylanie
Wyładowania elektryczne
Cienkie warstwy (technika)
Srebro - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł