- Tytuł:
- Wytwarzanie warstw wieloskładnikowych metodą rozpylania magnetronowego
- Współwytwórcy:
-
Kępiński, Leszek
Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
Kurnatowska, Michalina
Instytut Metali Nieżelaznych
Uniwersytet Wrocławski. Wydział Fizyki i Astronomii. Instytut Fizyki Doświadczalnej
Szatkowski, Adam
Lis, Marcin
Wojcieszak, Damian
Kaczmarek, Danuta (mikroelektronika)
Mazur, Michał
Domaradzki, Jarosław (elektronika)
Mazur, Piotr
Instytut Niskich Temperatur i Badań Strukturalnych im. Włodzimierza Trzebiatowskiego PAN
Adamiak, Bogdan - Data publikacji:
- 2013
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł