- Tytuł:
- Studies of thermal stability of a-C:H:Si coatings produced by radio-frequency plasma assisted chemical vapour deposition (RF-PACVD) method
- Autorzy:
-
Batory, D.
Jędrzejczak, A.
Sobczyk-Guzenda, A.
Szymański, W.
Niedzielski, P. - Data publikacji:
- 2016
- Słowa kluczowe:
-
thermal stability
silicon doping
DLC films
stabilność termiczna
domieszkowanie krzemu
powłoki DLC - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł