- Tytuł:
- Static, free and forced vibration analysis of a delaminated microbeam-based MEMS subjected to the electrostatic force
- Autorzy:
-
Razeghi-Harikandeei, A.
Azizollah Ganji, B.
Jafari-Talookolaei, R.-A.
Abdipour, A. - Data publikacji:
- 2020
- Wydawca:
- Instytut Podstawowych Problemów Techniki PAN
- Tematy:
-
microelectromechanical systems (MEMS)
delaminated microbeam
static deflection
pull-in voltage
non-linear electrostatic force - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki