- Tytuł:
- Positive and negative ion production in the ion sputtering process
- Autorzy:
-
Droździel, A.
Kornarzyński, K.
Romanek, J.
Mączka, D.
Latuszyński, J. - Data publikacji:
- 1999
- Słowa kluczowe:
-
rozpylanie jonowe
emisja jonowa
implantacja jonów
ion sputtering process
ion emission
ion implantation - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech