Wszystkie pola: model of sputtering process

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: Model of high rate reactive pulsed magnetron sputtering
Autorzy:: Tadaszak, K.
Posadowski, W. M.
Data publikacji:: 2011
Słowa kluczowe:: reaktywne rozpylanie magnetronowe
niezbalansowany magnetron
model procesu rozpylania
reactive magnetron sputtering
unbalanced magnetron
model of sputtering process; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: High rate deposition of thin film compounds - modeling of reactive magnetron sputtering process
Autorzy:: Tadaszak, K.
Paprocki, J.
Data publikacji:: 2013
Słowa kluczowe:: reactive magnetron sputtering
thin films
modeling of magnetron sputering
reaktywne rozpylanie magnetronowe
cienkie warstwy
model procesu rozpylania; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 3.

Tytuł:: High rate deposition of thin film compounds - modeling of reactive magnetron sputtering process
Wydajne osadzanie cienkich warstw związków chemicznych – modelowanie procesu reaktywnego rozpylania magnetronowego
Autorzy:: Tadaszak, K.
Paprocki, J.
Data publikacji:: 2013
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Elektrotechniki
Tematy:: reactive magnetron sputtering
thin films
modeling of magnetron sputering
reaktywne rozpylanie magnetronowe
cienkie warstwy
model procesu rozpylania; Pokaż więcej
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 4.

Tytuł:: Influence of projectile chemistry on the sputtering process of the model polymer thin film
Wpływ chemii pocisku na proces rozpylania modelowej warstwy polimerowej
Autorzy:: Sęk, Katarzyna
Słowa kluczowe:: spektrometria mas jonów wtórnych, SIMS, mikroskopia sił atomowych, AFM, nanotechnologia, rozpylanie jonowe, rozpylanie cienkich warstw, polimery
secondary ion mass spectrometry, SIMS, atomic force microscopy, AFM, nanotechnology, ion sputtering, sputtering of thin films, polymers; Pokaż więcej
Dostawca treści:: Repozytorium Uniwersytetu Jagiellońskiego

Inne

Szczegóły

Informacja