- Tytuł:
- Model of high rate reactive pulsed magnetron sputtering
- Autorzy:
- Tadaszak, Katarzyna
- Współwytwórcy:
-
Posadowski, Witold M.
Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki - Data publikacji:
- 2011
- Dostawca treści:
- Academica